半导体行业尾气处理设备
半导体行业尾气处理设备（local scrubber），主要包括 电加热水洗式尾气处理设备、干式尾气处理设备、等离子水洗式尾气设备及加热催化式尾气处理。 用于芯片制造相关行业废气的处理
半导体行业尾气处理设备（Local Scrubber) ，主要 用于相关行业制程工艺尾气的处理，涉及行业包括：半导体芯片制造、LED芯片（MOCVD）制造、太阳能芯片制造、平板显示行业及相关的实验室研究所等。根据所处理气体的类型不同，尾气处理设备主要分为： 电加热水洗式尾气处理设备、干式尾气处理设备、等离子水洗式尾气设备及加热催化式尾气处理。
