半导体行业尾气处理设备(Local Scrubber) ,主要 用于相关行业制程工艺尾气的处理,涉及行业包括:半导体芯片制造、LED芯片(MOCVD)制造、太阳能芯片制造、平板显示行业及相关的实验室研究所等。根据所处理气体的类型不同,尾气处理设备主要分为: 电加热水洗式尾气处理设备、干式尾气处理设备、等离子水洗式尾气设备及加热催化式尾气处理。