等离子水洗式尾气处理设备，使用2000度以上的高温等离子作为热源，可用于处于半导体、平板显示、LED等行业的特殊气体的处理，例如：NF3，SF6，CF4，C4F6，C5F8 及TMA等。
电热吸附式尾气处理设备，避免了废水的产生，将电热和干式吸附结合为一体，处理效率更高，运行成本更低。
电热水洗式尾气处理设备通过加热棒进行加热分解及水喷淋吸收两套系统，可有效的处理半导体、LED、太阳能等行业的各种有害气体。
