干式尾气处理设备，主要利用各种废气吸附剂处理半导体、LED、太阳能、实验室等相关工艺的废气处理，具有使用稳定可靠，不产生废水，不消耗电能等诸多优点。
主要用于处理CF4、SF6、NF3、CxFx、NH3 等气体，采用特殊催化材料，使其可在较低的温度即可分解，并同时被吸附剂进行吸收，不产生废水，安全可靠
